TEL Tokyo Electron 3M08-027471-11接口模塊 PDF資料
1.產(chǎn) 品 資 料 介 紹：
中文資料：
產(chǎn)品名稱：TEL Tokyo Electron 3M08-027471-11 接口模塊
設(shè)備類型：接口控制模塊 / I/O 模塊
制造商：Tokyo Electron Ltd.（日本東京電子）
一、主要應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造設(shè)備
蝕刻設(shè)備（Etcher）
化學(xué)氣相沉積設(shè)備（CVD）
原子層沉積設(shè)備（ALD）
應(yīng)用于Tokyo Electron的前段制程設(shè)備，例如：
模塊用作控制系統(tǒng)和傳感器、執(zhí)行機(jī)構(gòu)之間的信號(hào)交互接口。
自動(dòng)化控制系統(tǒng)
控制氣閥、泵浦、加熱器、冷卻器等裝置的啟停狀態(tài)。
實(shí)現(xiàn)設(shè)備聯(lián)鎖邏輯管理和安全控制。
I/O 信號(hào)處理
處理外部輸入/輸出數(shù)字信號(hào)與模擬信號(hào)。
連接 PLC、主控板卡，實(shí)現(xiàn)工藝狀態(tài)監(jiān)控與響應(yīng)。
晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)（EFEM/FOUP Interface）
管理晶圓在設(shè)備間的自動(dòng)傳輸過程。
接收來自晶圓傳送系統(tǒng)的狀態(tài)信號(hào)。
潔凈室設(shè)備接口
用于潔凈室中設(shè)備對(duì)設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)化接口連接，確保通訊和運(yùn)行同步。
二、典型功能概述
數(shù)字/模擬輸入輸出接口
電氣隔離與保護(hù)功能
通信協(xié)議支持（如 TEL 專有接口、RS232/422/485）
故障檢測(cè)與狀態(tài)指示功能
可熱插拔或便于維護(hù)的 PCB 架構(gòu)
英文資料：
Product Name: TEL Tokyo Electron 3M08-027471-11 Interface Module
Equipment type: Interface control module/I/O module
Manufacturer: Tokyo Electron Ltd
1、 Main application areas
Semiconductor Manufacturing Equipment
Applied to the front-end process equipment of Tokyo Electron, such as:
Etcher equipment
Chemical Vapor Deposition Equipment (CVD)
Atomic layer deposition equipment (ALD)
Modules are used as signal interaction interfaces between control systems, sensors, and actuators.
automatic control system
Control the start and stop status of devices such as air valves, pumps, heaters, and coolers.
Implement equipment interlocking logic management and safety control.
I/O signal processing
Process external input/output digital and analog signals.
Connect PLC and main control board to achieve process status monitoring and response.
Wafer Handling System (EFEM/FOUP Interface)
Manage the automatic transfer process of wafers between devices.
Receive status signals from the wafer transfer system.
Clean room equipment interface
Used for standardized interface connections between equipment in clean rooms to ensure communication and synchronous operation.
2、 Typical Function Overview
Digital/Analog Input/Output Interface
Electrical isolation and protection function
Communication protocol support (such as TEL proprietary interfaces RS232/422/485）
Fault detection and status indication function
PCB architecture that is hot swappable or easy to maintain
2.產(chǎn) 品 展 示
3.其他產(chǎn)品
ABB UN0942b-P 數(shù)字量擴(kuò)展模塊
GE VMIVME-017807-414001 直流信號(hào)輸出模塊
4.其他英文產(chǎn)品
ABB UN1024c-P Remote Terminal Module
ABB 70BK03c-E Control I/O Module
| PETL101B | AMAT 0100-71261 | MC-TAOY25 |
| PETL101AER | AMAT 0100-09200 | MC-TAOY22 |
| PETL101AE | AMAT 0100-77063 | MC-TD0Y23 |
| PEEL112 | AMAT 0100-02485 | MC-PAIH03 |
| PCE845-XYZ-T | AMAT 0100-03622 | MC-TAMT03 |
| PCE845-XYZ-N | AMAT 0100-91086 | MC-TAMR04 |
| PCE845-XYZ-F | AMAT 0100-09068 | MC-TAMR03 |
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